半導體設備核心零部件供應商恒運昌擬沖刺科創(chuàng)板IPO。

6月13日，上交所正式受理深圳市恒運昌真空技術股份有限公司（以下簡稱“恒運昌”）科創(chuàng)板IPO申請，這家專注半導體設備核心零部件的企業(yè)擬募資15.5億元，加速推進半導體級等離子體射頻電源系統(tǒng)的國產(chǎn)化進程。

半導體制造高度依賴等離子體工藝，而等離子體射頻電源系統(tǒng)是該工藝的核心“心臟”。

長期以來，這一領域被美國MKS和AE兩大巨頭壟斷，國產(chǎn)化率不足7%。恒運昌自2013年成立以來，聚焦這一技術難關，歷時十年研發(fā)出三代產(chǎn)品：

CSL系列：實現(xiàn)國產(chǎn)射頻電源從0到1的突破；

Bestda系列：支撐28納米制程，性能媲美國際水平；

Aspen系列：攻克14納米先進制程，打破海外技術封鎖。

據(jù)招股書披露，恒運昌產(chǎn)品已量產(chǎn)交付拓荊科技、中微公司、北方華創(chuàng)等國內頭部設備商，成為薄膜沉積、刻蝕環(huán)節(jié)的戰(zhàn)略供應商。截至2024年末，其自研產(chǎn)品中30款實現(xiàn)百萬級收入，19款突破千萬級收入，市場份額位列國內第一。

此次IPO募資15.5億元將投向五大領域：

沈陽半導體射頻電源系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)化項目：擴大高端產(chǎn)品產(chǎn)能，滿足先進制程需求；

智能化生產(chǎn)運營基地：提升真空裝備零部件的規(guī)?；a(chǎn)能力；

研發(fā)與前沿技術創(chuàng)新中心：攻關下一代射頻電源及等離子體技術；

營銷及技術支持中心：完善全國服務網(wǎng)絡；

補充流動資金：優(yōu)化資本結構，支撐業(yè)務擴張。

恒運昌表示，項目實施后將進一步鞏固其在國內市場的領先地位，并推動半導體設備關鍵零部件的國產(chǎn)化率提升。

盡管國產(chǎn)零部件取得突破，但挑戰(zhàn)依然嚴峻。業(yè)內人士指出，半導體零部件領域存在五大瓶頸：

市場規(guī)模碎片化：細分領域需求分散，難以形成規(guī)模效應；

材料性能滯后：高端原材料仍依賴進口；

認證周期漫長：關鍵零部件驗證需1-1.5年；

表面處理技術薄弱：與工業(yè)級產(chǎn)品差異顯著；

國際競爭激烈：海外巨頭通過專利壁壘和技術迭代保持優(yōu)勢。

恒運昌的應對策略是“技術深耕+生態(tài)協(xié)同”。例如，其與中芯國際、盛美上海等企業(yè)聯(lián)合開發(fā)，通過產(chǎn)業(yè)鏈合作縮短驗證周期；同時，通過并購基金整合資源，強化平臺化能力。

最后

隨著AI、5G、新能源汽車等新興領域對芯片需求的爆發(fā)，半導體設備零部件市場將持續(xù)擴容。

全球半導體設備市場在2024年達1192億美元，預計2025年增至1398億美元，其中中國占比超30%。核心零部件作為設備成本的80%以上，市場規(guī)模約200-300億美元，直接支撐半導體設備產(chǎn)業(yè)鏈運轉。

中國半導體設備銷售額預計從2023年的366億美元增至2027年的657.7億美元，年均復合增長率達15.8%，凸顯本土市場需求爆發(fā)力。

半導體設備由8大核心子系統(tǒng)構成，涉及機械、電氣、軟件等跨學科技術。當前國產(chǎn)化率僅10%-15%，石英件、射頻電源、真空泵等關鍵零部件仍依賴進口。技術突破面臨五大挑戰(zhàn)：細分市場規(guī)模小導致規(guī)?；蛔?、原料性能滯后、電氣類產(chǎn)品基礎薄弱、認證周期長達1-1.5年、表面處理技術要求嚴苛。例如，真空閥門領域國內產(chǎn)品覆蓋度與精細度不足，晶圓傳送設備市場仍由國外廠商主導。

政策層面，政府工作報告多次強調突破“卡脖子”環(huán)節(jié)，推動核心零部件國產(chǎn)化。資本層面，PE機構加速布局，通過并購基金助力企業(yè)擴張。國內企業(yè)如中科九微、泓滸半導體在真空閥門、晶圓傳送領域取得突破，部分產(chǎn)品進入臺積電產(chǎn)業(yè)鏈。同時，上市公司如富創(chuàng)精密、江豐電子通過逆勢投資擴大產(chǎn)能，在靜電吸盤、石墨基座等領域實現(xiàn)技術跨越。

全球市場由美國（44%）、日本（33%）企業(yè)主導，如MKS、UCT、AE等。國內企業(yè)逐步從“單點突破”向“平臺化”演進：北方華創(chuàng)覆蓋80%設備品類，中微公司刻蝕設備精度達0.02nm，5nm制程量產(chǎn)能力全球領先。未來趨勢包括：深耕既有工藝技術、發(fā)展功能模組、提高精密加工能力，以及通過產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同實現(xiàn)智能化生產(chǎn)。

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